日本ulvac cfb-1300z脂潤(rùn)滑分子泵一、產(chǎn)品簡(jiǎn)介
cfb-z系列脂潤(rùn)滑分子泵其葉輪采用國(guó)內(nèi)*的變截面葉齒，軸承采用脂潤(rùn)滑陶磁精密軸承，以更高的可靠性實(shí)現(xiàn)了泵的任意角度安裝和清潔無油的高真空環(huán)境，廣泛應(yīng)用于光伏、照明、宇航、半導(dǎo)體、能源、、激光、家電、新材料、汽車等真空技術(shù)的各個(gè)領(lǐng)域。
日本ulvac cfb-1300z脂潤(rùn)滑分子泵二、產(chǎn)品特點(diǎn)
由于對(duì)分子量大的氣體有很高的壓縮比，因此該泵不需要冷阱和油擋板即可獲得高真空和超高真空。軸承采用脂潤(rùn)滑陶瓷精密軸承，可以實(shí)現(xiàn)泵的任意角度安裝。
日本ulvac cfb-1300z脂潤(rùn)滑分子泵三、主要性能指標(biāo)
型號(hào)
cfb-1300z
進(jìn)氣口法蘭
—
lf200
cf200
排氣口法蘭
—
kf40
抽氣速率
l/s
1300
壓縮比n2/h2
—
1×109/1×104
極限壓強(qiáng)
pa
5×10-7
8×10-8
電機(jī)轉(zhuǎn)速
rpm
24000
振動(dòng)值
μm
≤0.1
啟動(dòng)時(shí)間
min
＜6
使用軸承
—
脂潤(rùn)滑陶瓷軸承
前極泵
l/s
8-15
冷卻方式
—
水冷（風(fēng)冷）
冷卻水溫度
℃
≤25
環(huán)境溫度
℃
<40
冷卻水流量
l/min
1
安裝方向
—
任意角度
重量
kg
～27
三、特性曲線及安裝尺寸
cfb系列抗沖擊分子泵對(duì)大氣的抽速曲線
cfb系列抗沖擊分子泵對(duì)氮?dú)饧皻錃鈮嚎s比曲線
cfb-1300z安裝尺寸
型號(hào)規(guī)格
cfb-1300z
高真空法蘭
lf200
cf200
d1
ф240
ф253
d2
ф267
ф267
d3
245
245
l1
101
101
h1
327
327
h2
267
267
h3
98.5
98.5
h4
252
252