agc濺射靶材的特點(diǎn)及運(yùn)用示例分析
1.光學(xué)薄膜用靶材目的汽車(chē)和住宅用表面處理玻璃的低輻射涂層
顯示膜和玻璃減反射涂層
觸摸屏等光學(xué)調(diào)整膜（折射率匹配膜）
信息電子玻璃用光學(xué)多層膜（cd、dvd等的鏡子）
材料產(chǎn)品名稱(chēng)目標(biāo)形狀目標(biāo)薄膜（氧化膜用）
平板圓柱直流濺射特征耐堿性耐酸性耐刮擦其他的
硅基sc ○
○ 高速成膜（>結(jié)晶si）、高強(qiáng)度、高導(dǎo)熱率 ○ ○ ○ n=1.46無(wú)定形
熱噴涂硅 ○ ○ ○ 穩(wěn)定放電 ○ ○ ○ n=1.46無(wú)定形
鈮基n.b.o. ○ ○熱噴涂 ○ 高密度、高速成膜（＞nb） ○ ○ ○ n=2.3 無(wú)定形
鈦基txo ○ ○熱噴涂 ○ 高速成膜（>ti） ○ ○ ○ n=2.45無(wú)定形
此處列出的質(zhì)量數(shù)據(jù)僅供參考，并非保證值。關(guān)于下單時(shí)的質(zhì)量保證，我們將另行協(xié)商決定。請(qǐng)注意，列出的質(zhì)量數(shù)據(jù)如有更改，恕不另行通知。
特征sc由于其高強(qiáng)度、高導(dǎo)熱性、均勻的結(jié)構(gòu)靶材，實(shí)現(xiàn)了長(zhǎng)期穩(wěn)定放電。
與使用結(jié)晶si成膜的情況相比，成膜速度提高了20%。
通過(guò)氧化反應(yīng)濺射獲得非晶sio2膜。
通過(guò)氧化反應(yīng)濺射獲得的薄膜是無(wú)色且高度透明的。
n.b.o.成膜速度比金屬鈮成膜時(shí)快3倍以上。
通過(guò)氧化反應(yīng)濺射獲得非晶nb2o5膜。
通過(guò)氧化反應(yīng)濺射獲得的薄膜是無(wú)色且高度透明的。
txo成膜速度比金屬ti快7倍以上。
通過(guò)氧化反應(yīng)濺射獲得非晶tio2膜。
通過(guò)氧化反應(yīng)濺射獲得的薄膜是無(wú)色且高度透明的。
2.高耐久性保護(hù)膜用靶材/中折射率薄膜用靶材目的汽車(chē)、住宅用表面處理玻璃（有色玻璃、熱反射玻璃等）保護(hù)膜
顯示薄膜（觸摸屏等）的防反射涂層
適用于條碼閱讀器和復(fù)印機(jī)頂部玻璃的防刮保護(hù)膜
適用于所有需要耐堿、耐刮傷的薄膜的保護(hù)膜。
材料產(chǎn)品名稱(chēng)目標(biāo)形狀目標(biāo)薄膜（氧化膜用）
平板圓柱直流濺射特征耐堿性耐酸性耐刮擦其他的
硅基sx ○
○ 高密度、低飛弧特性 ◎ ◎ ◎ n=1.7 無(wú)定形
英石 ○ △開(kāi)發(fā)中 ○ 高密度、高速成膜（>sx） ○ ◎ ◎ n=1.7～2.0非晶態(tài)
此處列出的質(zhì)量數(shù)據(jù)僅供參考，并非保證值。關(guān)于下單時(shí)的質(zhì)量保證，我們將另行協(xié)商決定。請(qǐng)注意，列出的質(zhì)量數(shù)據(jù)如有更改，恕不另行通知。
特征sx通過(guò)氧化反應(yīng)濺射獲得非晶膜，該非晶膜平坦且具有低摩擦特性。
通過(guò)氧化反應(yīng)濺射獲得的薄膜是無(wú)色且高度透明的。
通過(guò)氧化反應(yīng)濺射獲得的薄膜具有優(yōu)異的耐刮擦性和耐化學(xué)性。
英石成膜速度比sx更快。
通過(guò)氧化反應(yīng)濺射獲得非晶膜，該非晶膜平坦且具有低摩擦特性。
通過(guò)氧化反應(yīng)濺射獲得的薄膜是無(wú)色且高度透明的。
通過(guò)氧化反應(yīng)濺射獲得的薄膜具有優(yōu)異的耐刮擦性和耐化學(xué)性。
通過(guò)氧化反應(yīng)濺射獲得的薄膜具有液滴特性。
所得薄膜的折射率可在 1.7 至 2.0 之間變化，具體取決于目標(biāo)組合物。
3.low-e介電薄膜靶材/中折射率薄膜靶材目的建材用low-e（低輻射）薄膜用介電薄膜
防反射膜等光學(xué)膜用中折射率膜
材質(zhì)系統(tǒng)產(chǎn)品名稱(chēng)目標(biāo)形狀目標(biāo)膜質(zhì)量
平板圓柱dc成膜特征
鋅基深圳 ○ ○ ○ 合金靶材ar膜沉積 n=2.0無(wú)定形
az ○ △開(kāi)發(fā)中 ○ 合金靶材ar膜沉積 n=2.0無(wú)定形
此處列出的質(zhì)量數(shù)據(jù)僅供參考，并非保證值。關(guān)于下單時(shí)的質(zhì)量保證，我們將另行協(xié)商決定。請(qǐng)注意，列出的質(zhì)量數(shù)據(jù)如有更改，恕不另行通知。
特征使用我們的制造方法，圓柱形 sz 靶材與背襯管實(shí)現(xiàn)了高粘合強(qiáng)度。因此，與傳統(tǒng)的熱噴涂靶相比，可以使用高功率濺射進(jìn)行高速成膜。
可制造總長(zhǎng)3m以上的長(zhǎng)圓柱形靶材。
4、透明導(dǎo)電膜用靶材目的環(huán)境及能源玻璃（太陽(yáng)能電池等）用透明電極
顯示玻璃用透明電極
汽車(chē)和住宅玻璃用透明導(dǎo)電膜（熱反射玻璃、電動(dòng)汽車(chē)表面加熱元件等）
纖維、薄膜等抗靜電涂膜
材質(zhì)系統(tǒng)產(chǎn)品名稱(chēng)目標(biāo)形狀目標(biāo)膜質(zhì)量
平板圓柱dc成膜特征電導(dǎo)率耐化學(xué)性其他特性
鋅基廣州市 ○
○ 高密度燒結(jié)體ar成膜 ○ × n=1.9低溫結(jié)晶膜
偶氮 ○ △開(kāi)發(fā)中 ○ 高密度燒結(jié)體ar成膜 ○ × n=1.9低溫結(jié)晶膜
此處列出的質(zhì)量數(shù)據(jù)僅供參考，并非保證值。關(guān)于下單時(shí)的質(zhì)量保證，我們將另行協(xié)商決定。請(qǐng)注意，列出的質(zhì)量數(shù)據(jù)如有更改，恕不另行通知。
特征相對(duì)密度90%以上的高密度zno靶材。
與ito相比，不易產(chǎn)生結(jié)節(jié)，可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的放電。
可在純氬氣氣氛下成膜。
即使在室溫下也可以形成結(jié)晶膜。