晶圓測(cè)量
晶圓測(cè)量系統(tǒng)在以生產(chǎn)快速運(yùn)行時(shí)，能否準(zhǔn)確識(shí)別和測(cè)量出晶圓的種種缺陷。這要求機(jī)械裝置的剛性高，精度好，能夠快速響應(yīng)使系統(tǒng)能夠快速穩(wěn)定下來，達(dá)到目標(biāo)掃描速度識(shí)別出晶圓的種種缺陷，滿足晶圓每小時(shí)生產(chǎn)效率的關(guān)鍵要求，氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)成為理想的選擇。
根據(jù)本行業(yè)應(yīng)用，北京瑞邦精控研發(fā)出qfhds雙軸h形超精密氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)，同時(shí)滿足許多高精度應(yīng)用，如半導(dǎo)體加工，光子學(xué)，精密掃描，以及平板顯示器制造中。該平臺(tái)均是直接驅(qū)動(dòng)、直接反饋型設(shè)備，經(jīng)過大量的測(cè)試，可確保達(dá)到高的精度和穩(wěn)定性性能。
指標(biāo)規(guī)格
運(yùn)動(dòng)軸
x(掃描)
y(步進(jìn))
x(掃描)
y(步進(jìn))
x(掃描)
y(步進(jìn))
）
400
400
500
500
600
600
重復(fù)定位精度 (nm)
±75
±100
）
0.3
）
1
）
4
定位穩(wěn)定性（nm大負(fù)載（kg）
±1
roll（arc-sec）
±1