目的探針-樣品距離調節(jié)方法取決于對近場探針末端和樣品之間的剪切力的檢測[ 1 ]。基于剪切力的系統允許單獨使用剪切力顯微鏡,或同時進行剪切力和近場成像,包括用于透明樣品的透射模式,用于不透明樣品的反射模式和用于樣品其他表征的發(fā)光模式。
使用石英音叉作為傳感器將光學探頭固定在表面非光學方案附近。與光學保持方案相比,它可以增加有用信噪比。這對于分辨率受限的操作非常重要。也不會出現光誘導的載體。研究半導體的某些性能是必要的要求。
獲取有關表面信息的非光學方法的核心思想是使用石英音叉的響應與表面相互作用,該響應連接到光纖。借助于外部進給元件,可在橫向振動中激發(fā)系統的光纖石英,從而提高石英共振頻率。使用進一步的壓電效應:在存在機械振蕩的情況下,石英的電輸出具有電壓響應,該電壓響應用作有關纖維振蕩幅度的信息信號。
剪切力顯微鏡通過以下方式實現。壓電驅動器通過石英音叉激發(fā)光纖探頭的初始振幅。石英的合適輸出值為ao。接近樣品表面后,光纖探針振蕩的振幅達到某個設定值,石英輸出達到值a。之后,通過反饋系統在保持該值的情況下進行樣品表面掃描。
references
appl. phys. lett. 60, 2484 (1992).